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ICP光譜儀和火焰原子吸收光譜儀是有很大區(qū)別的，通常意義上來說，它具有儀器簡單、抗干擾能力強、靈敏度高、選擇性好、精密度高、操作方便等等特點。下面是對其進行具體的分析。

1）抗干擾能力強。一般不存在共存元素的光譜重疊干擾，主要是化學干擾。

2）選擇性好。原子吸收光譜是元素的固有特征，這是其選擇性好的根本原因。

3）檢出限低。火焰原子吸收光譜分析法的檢出限約為ng/mL級。

4）用樣量少。火焰原子吸收光譜分析法的進樣量為3--6mL/min。

5）精密度高。原子吸收光譜的強度取決于自由基態(tài)原子的個數(shù)，受溫度變化的影響很小，這是原子吸收光譜分析法的精密度比原子發(fā)射光譜分析法的精密度好的原因。

6）單元素的定量分析。每次進樣只能測量一個元素，這是其缺陷之一

7）應用范圍廣。可以測絕大多數(shù)金屬與準金屬元素，還可以間接測量非金屬元素。