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電感耦合等離子體光譜儀是高頻振蕩器發生的高頻電流，經過耦合系統連接在位于等離子體發生管上端，銅制內部用水冷卻的管狀線圈上。石英制成的等離子體發生管內有三個同軸氫氣流經通道。冷卻氣(Ar)通過外部及中間的通道，環繞等離子體起穩定等離子體炬及冷卻石英管壁，防止管壁受熱熔化的作用。

    電感耦合等離子體光譜儀的樣品化學處理方法：

①未污染水樣：待測元素含量較低時，水樣需濃縮10倍。濃縮時吸取水樣100mL于燒杯中，加硝酸1mL，低溫蒸至近干，加鹽酸或硝酸加熱提取，移入10mL容量瓶，定容。

②無機鹽類：雙重蒸水溶解，或加少量鹽酸或硝酸，根據樣品確定是否加熱。

③合金：根據合金成分在硝酸、鹽酸、硫酸、王水幾種酸溶中尋找合適方法。要防止待測元素揮發或水解。

④土壤類：用鹽酸或硝酸預處理后，加0.5mL高氯酸和10mL左右氫氟酸，加熱蒸干，用硝酸和高氯酸將HF趕盡，用鹽酸或硝酸提取。

    電感耦合等離子體光譜儀工作的基本條件：

①rf系統能夠輸出持續、穩定、合適的能量到工作線圈。

②炬管安裝良好且通有純凈、流量適宜的氬氣。

③點火裝置向氣體中釋放適當的電荷。

④如果其中某個條件沒有滿足則儀器不能正常點火。

另外，電感耦合等離子體光譜儀的功率放大部分的核心部件為功率它是一個大功率的真空電子管，內部有一細長的燈絲，當燈絲通電而RF系統未工作時，電流就會讓燈絲發熱并發射熱電子。